Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Preparation of ZnO:Al Thin Films by Facing Targets Sputtering system

대향타겟식 스퍼터법에 의한 ZnO:Al 박막의 제작

  • 금민종 (경원대학교 전기전자공학과) ;
  • 양진석 (경원대학교 전기전자공학과) ;
  • 손인환 (신성대학 전기과) ;
  • 가출현 (신성대학 전기과) ;
  • 김경환 (경원대학교 전기전자공학과)
  • Published : 2001.02.22
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Abstract

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