Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05b
- /
- Pages.26-29
- /
- 2001
The Characteristic on Electrical Resistivity of Zno film by Ramped method
선택적 증착에 의해서 제작한 ZnO 박막의 전기저항률 특성
- Lee, Woo-Sun ;
-
Choi, Kwon-Woo
;
- Cho, Joon-Ho ;
-
Park, Jin-Seong
;
- Seo, Yong-Jin ;
- Kim, Sang-Yong ;
- Chung, Yong-Ho ;
-
Lee, Jin
- 이우선 (조선대학교 전기공학과) ;
-
최권우
(조선대학교 전기공학과) ;
- 조준호 (조선대학교 전기공학과) ;
-
박진성
(조선대학교 전기공학과) ;
- 서용진 (대불대) ;
- 김상용 (아남반도체) ;
- 정용호 (서강정보대) ;
-
이진
(목포대)
- Published : 2001.05.11
Abstract
ZnO thin film had been deposited on the glass by Evaporation Ramped method. and electrical and resistivity were investigated. Evaporation gas(