한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)
- 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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- 2001
DOAP을 이용한 초고속 타원계의 개발
Development of Ultra High Speed Ellipsometer using DOAP
초록
일반적으로 상업화된 타원계는 회전 검광자(회전 편광자), 혹은 위상변조방식이 주를 이루고 있다. 회전 검광자나 위상변조방식의 타원계는 모터를 회전시키거나 위상을 변조시키는 방법에 의존하므로 하나의 타원상수쌍 ( ,Ψ)를 얻는데 수십
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