한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

DOAP을 이용한 초고속 타원계의 개발

Development of Ultra High Speed Ellipsometer using DOAP

  • 김상준 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과)
  • 발행 : 2001.02.01
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초록

일반적으로 상업화된 타원계는 회전 검광자(회전 편광자), 혹은 위상변조방식이 주를 이루고 있다. 회전 검광자나 위상변조방식의 타원계는 모터를 회전시키거나 위상을 변조시키는 방법에 의존하므로 하나의 타원상수쌍 ( ,Ψ)를 얻는데 수십 $\mu\textrm{s}$ - 수십 ms의 측정시간을 필요로 한다. 그러나, 예를 들어 상변화형 광기록매체인 Ge$_2$Sb$_2$Te$_{5}$(GST)와 같이 수십 ns 시간간격으로 비정질상과 결정상이 변화하면서 정보 데이터를 저장하거나 소거하게 되는 경우 비정질상에서 결정상으로 바뀌는 과정의 결정화과정을 측정하고 분석하기 위해서는 수 ns로 측정할 수 있는 장비가 필요하다. (중략)

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