한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

PECVD법으로 증착시킨 a-SiC:H박막의 열처리온도 변화에 따른 특성분석

Structural and Electrical Characteristics by Anneal ing Temperatures of the a-SiC:H Thin Films Deposited by PECVD

  • 발행 : 2001.06.01
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