대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- Pages.237-240
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- 2001
실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구
A study on wet etching for silicon membrane construction formation
초록
In this paper, we have presented processing technique about wet etching for silicon membrane construction formation. In order to make selective etching of backside silicon wafer, we used Si
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