Study on Etching Mechanism of Platinum thin film using Electron Cyclotron Resonance Plasma

ECR 플라즈마를 사용한 백금 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구

  • 주섭열 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 황재희 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 김상훈 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 안진호 (한양대학교 신소재공학부)
  • Published : 2001.11.01