Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

Study on Etching Mechanism of Platinum thin film using Electron Cyclotron Resonance Plasma

ECR 플라즈마를 사용한 백금 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구

  • 주섭열 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 황재희 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 김상훈 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 안진호 (한양대학교 신소재공학부)
  • Published : 2001.11.01
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Abstract

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