Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.11a
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Pages.155-155
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Slip Formation of 300mm Polished and Epitaxial Silicon Wafer Annealed by Rapid Thermal Annealing

Rapid thermal Annealing에 의한 300mm Polished 및 Epitaxial 실리콘 웨이퍼의 슬립 형성

박기훈 (한양대학교 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) ;
이곤섭 (한양대학교 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) ;
박재근 (한양대학교 첨단 반도체 소재/소자 개발연구소) ;
조규철 (삼성전자 기흥, 생산 기술팀)

Published : 2001.11.01

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Abstract

Keywords