DLI-MOCVD를 이용한 $La_2O_3$ 박막의 증착과 전구체 평가

Deposition of $La_2O_3$ thin film using DLI-MOCVD and evaluation of Precursors

  • 강상우 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과)
  • 발행 : 2001.11.01