한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

산소 및 염소 플라즈마를 이용한 류테늄 미세패턴 식각특성

Etching characteristics of Ru films using O2/Cl2 plasma

김광식 (인하대학교 재료공학부) ;
이정호 (인하대학교 재료공학부) ;
김현우 (인하대학교 재료공학부) ;
한재현 (삼성전자(주)) ;
주병선 (삼성전자(주)) ;
강창진 (삼성전자(주)) ;
문주태 (삼성전자(주))

발행 : 2001.11.01

PDF

PDF 다운로드

⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드