한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅

The preparation of Cu/C:O films at ambient temperature by ECR plasma

  • 고형덕 (고려대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 변동진 (고려대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 이중기 (한국과학기술연구원 나노환경연구센터) ;
  • 박달근 (한국과학기술연구원 나노환경연구센터)
  • 발행 : 2001.11.01
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