Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.11a
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Pages.72-72
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

CVD and analysis of HfO$_2$ films on Si substrate

Si기판위에서 CVD를 이용한 gate dielectric 용 HfO$_2$ 박막의 증착과 분석

박병건 (서울대학교) ;
박재후 (서울대학교) ;
조문주 (서울대학교) ;
황철성 (서울대학교) ;
김동현 (주성 엔지니어링) ;
한영기 (주성 엔지니어링) ;
오기영 (주성 엔지니어링) ;
양두영 (주성 엔지니어링)

Published : 2001.11.01

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