Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.11a
/
Pages.70-70
/
2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Deposition and characterization of $SrTiO_3$ thin films by atomic layer deposition

단원자증착법을 이용한 $SrTiO_3$ 박막의 증착 및 특성 평가

김성근 (서울대학교 재료공학부) ;
권오성 (서울대학교 재료공학부) ;
황철성 (서울대학교 재료공학부) ;
현광수 (에버테크) ;
정재학 (에버테크) ;
최형섭 (에버테크) ;
박철수 (에버테크) ;
박세윤 (에버테크)

Published : 2001.11.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords