DLI-MOCVD를 이용한 Pb(Zr, Ti)$O_3$ 박막의 증착

Deposition of Pb(Zr, Ti)$O_3$ thin film using DLI-MOCVD

  • 양우영 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과)
  • 발행 : 2001.11.01