대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C
- /
- Pages.1905-1907
- /
- 2001
에탄올과 메탄올에 대한 다공질 실리콘의 감지 특성
Characteristics of porous silicon for detection of ethanol and methanol
- Kim, Hyung-Il (Korea University) ;
- Kang, Chul-Goo (Korea University) ;
- Kang, Moon-Sik (Korea University) ;
-
Jin, Joon-Hyung
(Korea University) ;
-
Min, Nam-Ki
(Korea University)
- 발행 : 2001.07.18
초록
본 논문에서는 다공질 실리콘에 대한 에탄올과 메탄을 가스 감지 특성을 측정하고 전기 전도도의 변화를 고찰하였다. 우선 HF와 에탄올의 혼합 용액내에서 n-type의 웨이퍼에 일정 전압을 인가하여 다공질 실리콘을 형성한다. 다공질 실리콘은 수직한 방향으로
키워드