대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1902-1904
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- 2001
유리로 패키징된 다공질 실리콘 다이어프램의 PL특성
Photoluminescence from glass packaged porous silicon diaphragm
- Kang, Chul-Goo (Korea University) ;
- Kang, Mook-Sik (Korea University) ;
- Jin, Joon-Hyung (Korea University) ;
- Hong, Suk-In (Korea University) ;
- Min, Nam-Ki (Korea University)
- 발행 : 2001.07.18
초록
본 논문은 마이크로머시닝 기술을 응용하여 다공질 실리콘 다이어프램을 제작하여 air,
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