Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2001.07c
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- Pages.1478-1480
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- 2001
Electrical and optical properties of ZnO : Al thin films deposited by Facing Targets Sputtering
대향타겟스퍼터법으로 증착된 ZnO : Al 박막의 전기적 광학적 특성
- Yang, J.S. (Kyungwon Univ.) ;
- Seong, H.V. (Kyungwon Univ.) ;
- Keum, M.J. (Kyungwon Univ.) ;
- Park, Y.W. (Namseoul Univ.) ;
- Ka, C.H. (Shinsung College) ;
- Kim, K.H. (Kyungwon Univ.)
- 양진석 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 성하윤 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 금민종 (경원대학교 전기전자공학과) ;
- 박용욱 (남서울대학교 전자정보통신공학부) ;
- 가출현 (신성대학 전기과) ;
- 김경환 (경원대학교 전기전자공학과)
- Published : 2001.07.18
Abstract
ZnO : Al transparent conductive thin films were prepared by facing targets sputtering system with a DC power supply which can deposit a high quality thin films and control deposition condition in all range of
Keywords