한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

AlN 체적탄성파 공진기의 기판손실변화에 의한 Over-moded 탄성파특성

The Influence of Substrate Loss Change on Over-moded Acoustic Wave Characterization in AlN Film Bulk Acoustic Resonator

  • 이시형 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터, 연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김상희 (광운대학교 전파공학과) ;
  • 김종헌 (광운대학교 전파공학과)
  • 발행 : 2000.10.20
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