한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)

권호 표지

AlN 박막제조를 위한 단일전구체 합성

The Synthesis of A Suitable Single Precursor for AlN Thin Films.

안창규 (아주대학교 재료공학과) ;
경제홍 (삼성전기(주)) ;
조성훈 (KIST) ;
한성환 (KIST) ;
최승철 (아주대학교 재료공학과)

발행 : 2000.10.20

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