초음파 분무 MOCVD법에 의한 PLT박막의 제조 및 Seeding layer의 영향

Preparation of PLT thin films by MOCVD using ultra spraying and effects of seeding layers

  • 박민규 (경북대학교 무기재료공학과) ;
  • 박병옥 (경북대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 2000.10.20