응력의 영향에 따른 PZT박막의 강유전체 특성에 관한 연구

Study on ferroelectric properties of PZT thin films by stress effect

  • 임왕규 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김주호 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김용성 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2000.10.20