스크린 인쇄법에 의해 제조한 PZT 압전후막의 특성

Characterization of PZT Piezoelectric Thick Films Prepared by Screen Printing Method

  • 김용범 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 최두진 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터)
  • 발행 : 2000.04.21