한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

직접 접합법으로 제조한 SOI 구조에서의 산화 적층 결함의 응집거동

Gettering Behaviors of Oxidation Induced Stacking Faults in Silicon-on-Insulator structure obtained by Wafer-Direct-Bonding

  • 김규태 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 최두진 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2000.04.21
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