ACOUSTO-OPTIC DEVICE 적용을 위한 $PZT/TiO_x/SiO_2/SiN_x/SiO_2/Si$ 구조의 제작 및 표면파 특성분석

• 이창호 (한국과학기술원 재료공학과) ;
• 이창승 (삼성종합기술원 마이크로시스템실) ;
• ;
• 전용배 (한국과학기술원 재료공학과) ;
• 노광수 (한국과학기술원 재료공학과)

• Lee, Chang-Ho ;
• Lee, Chang-Seung ;
• Liu, Junye ;
• Jeon, Yong-Bae ;
• Noh, Kwang-Soo

• 발행 : 2000.04.21

• PDF