한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 전자세라믹스 센서 및 박막재료 반도체재료 일렉트렛트 및 응용기술
- /
- Pages.80-83
- /
- 2000
유리 기판 위에서의 PZT 캐패시터에 관한 연구
A study on PZT capacitor on the glass substrate
초록
The post-annealing treatments on rf magnetron sputtered PZT(