LCOS의 Full On을 위한 Passivation Layer 영향분석

Analysis of a Passivation Layer for Full Switching of LCOS Panel

  • 강기형 (삼성 SDI, Coporate R&D Center) ;
  • 이유진 (삼성 SDI, Coporate R&D Cente) ;
  • 송남철 (삼성 SDI, Coporate R&D Cente) ;
  • 김민석 (삼성 SDI, Coporate R&D Cente) ;
  • 황현하 (삼성 SDI, Coporate R&D Cente) ;
  • 조철식 (삼성 SDI, Coporate R&D Center)
  • 발행 : 2000.08.01

초록

동전만한 작은 크기의 화면을 원하는 크기로 확대해서 보여주는 micro-display는 부피가 작고 가벼운 장점으로 인해 HMD(Head Mount Display)에 적용되었으나, 최근들어 TV나 monitor등에 확대 적용되고 있다. 이러한 micro-display중 LCOS는 최근 가장 활발히 연구되고 있는 micro-display이다$^{(1).(4)}$ . LCOS는 Liquid Crystal On Silicon의 약어로 반도체 제조에 사용되는 silicon wafer위에 액정소자를 얹어 제작하는 것이다. LCOS는 액정화면을 구동하기 위한 silicon back-plate의 반도체 기술, 화상을 표시하는 액정소자 기술, 표시된 화면을 사용자가 볼 수 있도록 투사하는 조명/투사광학 기술등이 집적화된 display이다. LCOS의 최적 특성을 위해서는 각 부분의 성능 최적화뿐만 아니라 각 기술들의 상호 연결 및 접목이 중요하다. (중략)

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