Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

High Density Plasma Nitrogen Implantation을 이용한 Silicon Nitride 형성

  • 김태호 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 김형석 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학부)
  • Published : 2000.02.01
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Abstract

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