Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2000.02b
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Pages.82-82
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2000

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Poly Si1-xGex의 산화 거동 분석

강성관 (연세대학교) ;
고대홍 (연세대학교) ;
이기철 (주성 엔지니어링(주)) ;
양두영 (주성 엔지니어링(주)) ;
안태항 (현대전자(주)) ;
주문식 (현대전자(주))

Published : 2000.02.01

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