한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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- Pages.47-47
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- 2000
(주)지에이티
초록
당사는 진공 및 반도체 장비용 major components 국산화 개발을 전문으로 하는 회사로서 주로 vacuum과 gas control 부문 개발에 역점을 두고 있습니다. 현재 생산 혹은 차후 개발하고자 하는 제품은 다음과 같다. MFC power supply & Readout unit(GMC 1000, GMC 100A, GMC110A), Vacuum Controller(GVC2000, GVC1000, GVC2002), Throttle valve Controller & Pressure Display unit(GPC3000), MFC 등을 생산/판매하고 있다.
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