대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 1999년도 추계종합학술대회 논문집
- /
- Pages.187-190
- /
- 1999
전자선 묘화를 이용한 0.2 ${\mu}{\textrm}{m}$ 의 게이트 길이를 갖는 MIMIC용 Wide-Head T-gate 제작
Fabrication of wide-head T-gate with 0.2 ${\mu}{\textrm}{m}$ gate length using E-beam lithography for MIMIC applications.
초록
We have developed fabrication processes that form a wide-head T-gate with a 0.2
키워드