대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 1999년도 하계종합학술대회 논문집
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- Pages.243-246
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- 1999
Sidewall Spacer와 Post Gate Oxidation에 따른 MOSFET 특성 및 Hot Carrier 신뢰성 연구
MOSFET Characteristics and Hot-Carrier Reliability with Sidewall Spacer and Post Gate Oxidation
초록
We studied the MOSFET characteristics and the hot-carrier reliability with the sidewall spacer composition and the post gate oxidation thickness in 0.20
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