Study on the $(Ba,Sr)TiO_3$ thin films by MOCVD using more coordinatively saturated Ti precursors

  • 이정현 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실) ;
  • 김주영 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실)
  • Published : 1999.05.01