Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Metal-organic chemical vapor deposition of copper film using (hfac)Cu(DMB))

(hfac)Cu(DMB)를 이용한 구리박막의 유기금속 화학증착

  • 강상우 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실) ;
  • 한상호 (나노테라 소재화학) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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