한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
- /
- Pages.244-247
- /
- 1999
열처리 온도에 따른 SCT 박막의 미세구조 및 유전특성
Microstructure and Dielectric Properties of SCT Thin Film with Annealing Temperature
초록
The(Sr
키워드