한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.25-28
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- 1999
$LiNbO_3$ 박막을 이용한 MFSFET의 게이트 전극 의존성
Gate Electrode Dependence of MFSFETs using $LiNbO_3$ Thin Film
초록
Metal ferroelectric semiconductor Field Effect- Transistors(MFSFET) with various gate electrodes, that are aluminum, platinum and poly -Si, using LiNbO
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