Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Surface roughness of poly-Si by ELA with $O_2$ plasma treatment and characteristics of poly-Si TFT

ELA(Excimer laser Annealing)에 의한 poly-Si의 $O_2$plasma에 의한 계면 거칠기 제어와 poly-Si TFT 특성에 관한 연구

  • 최재식 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 권도현 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 한상용 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 박성계 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 남승의 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 금속.재료공학과)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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