Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon Films by Plasma Treatments and Lateral Growth

플라즈마 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 거동과 측면 유도 결정화에 관한 연구

  • 김덕녕 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 박성계 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 남승의 (홍익대학교 금속.재료공학과)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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