Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1999.11a
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Pages.146-146
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1999

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

The effect of $O_2$post-plasma treatment on porous silica thin film synthesized by sol-gel method

졸겔법을 이용하여 제조한 porous silica 박막에 미치는 산소 플라즈마 후처리의 영향

손세일 (한양대학교 금속공학과) ;
이석형 (한양대학교 금속공학과) ;
양성훈 (한양대학교 금속공학과) ;
이원희 (한양대학교 금속공학과) ;
박종완 (한양대학교 금속공학과)

Published : 1999.11.01

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Abstract

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