Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of ion damage process on the ferroelectric properties of PZT thin films

이온 손상 처리가 PZT 박막의 강유전 특성에 미치는 영향

  • 박응철 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이장식 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 박정호 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이훈 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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