Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Selective wet etching of InGaAs on InAlAs for InAlAs/InGaAs/InP High Electron Mobility Transistor

InAlAs/InGaAs/InP High Electron Mobility Transistor에서 InGaAs 선택 에칭 공정에 관한 연구

  • 장호원 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 이종람 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박해성 (삼성종합기술원)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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