한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

MeV 이온주입에 의해 형성된 Retrograde Triple well에서 발생하는 결함들의 상호작용

The Interaction of Defects Produced in A Retrograde Triple well Using MeV Ion Implantation

  • 류한권 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 김대영 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 김남각 ((주)현대반도체 선행공정2팀) ;
  • 김종관 ((주)현대반도체 선행공정2팀)
  • 발행 : 1999.11.01
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