Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Growth of $\mu$C-SiC:H Thin Films by PECVD

플라즈마 화학증착법에 의한 $\mu$C-SiC:H 박막의 성장

  • 김현철 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 이재신 (울산대학교 재료금속공학부)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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