Thermal stability of Au layer in Pd/Au, Pt/Au ohmic contacts on p-type GaN

P-type GaN 위에 형성된 Pd/Au, Pt/Au 전극에서 Au overlayer층이 열적 안정화에 미치는 영향

  • 조유화 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 김종규 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 이종람 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 이재원 (삼성종합기술원 광전자실) ;
  • 박용조 (삼성종합기술원 광전자실) ;
  • 김태일 (삼성종합기술원 광전자실)
  • Published : 1999.11.01