한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

단일 전자 소자용 양자점 형성을 위한 비정질 실리콘과 실리콘-게르마늄 박막의 증착 거동에 대한 연구

A Study on the Deposition Behavior of Amorphous Silicon and Silicon Germanium Thin Film for the Formation of Quantum Dot of Single Electron Transistor

  • 발행 : 1999.11.01
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