대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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- Pages.1707-1709
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- 1999
화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성
Characterization of microstructures and electrical properties of insulating thin films deposited by PECVD and RF magnetron sputtering
- 윤상한 (명지대학교 전기공학과) ;
- 이재엽 (한양대학교 전기공학과) ;
- 박창균 (한양대학교 전기공학과) ;
- 서수형 (한양대학교 전기공학과) ;
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김용상
(명지대학교 전기공학과) ;
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박진석
(한양대학교 전기공학과)
- Yun, Sang-Han (Myongji University) ;
- Lee, Jae-Yup (Hanyang University) ;
- Park, Chang-Kyun (Hanyang University) ;
- Seo, Soo-Hyung (Hanyang University) ;
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Kim, Yong-Sang
(Hanyang University) ;
-
Park, Jin-Seok
(Hanyang University)
- 발행 : 1999.07.19
초록
Insulating thin films for strain gauge application, such as
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