한국전기화학회:학술대회논문집

1999.04a
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Pages.60-60
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1999

The Korean Electrochemical Society (한국전기화학회)

권호 표지

Effects of plasma gas chemistries on the etch properties of III-nitrides

플라즈마 가스조성이 3족 질화물의 식각 특성에 미치는 효과

김현수 (성균관대학교 재료공학과) ;
이도행 (성균관대학교 재료공학과) ;
박준용 (성균관대학교 재료공학과) ;
이재원 (삼성종합기술원) ;
김태일 (삼성종합기술원) ;
염근영 (성균관대학교 재료공학과)

Published : 1999.04.01

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Abstract

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