한국전기화학회:학술대회논문집

한국전기화학회 (The Korean Electrochemical Society)
권호 표지

SBTN/YSZ/Si 구조에서 YSZ Buffer층 형성시 산소 분압의 변화가 Capacitance-Voltage 특성에 미치는 영향

  • 장세명 (한양대학교 미세구조반도체공학과) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과)
  • 발행 : 1999.04.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드