한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)

권호 표지

$O_3-MOCVD$법에 의한 대면적 Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성

Electrical and Optical Characterization of Tin Oxide Thin Film by Large Scale $O_3-MOCVD$ Technique

김용준 (성균관대학교) ;
배정운 (성균관대학교) ;
송국현 (국립기술품질원) ;
박정일 (국립기술품질원) ;
박광자 (국립기술품질원) ;
박용관 (성균관대학교)

발행 : 1998.11.01

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