열적 유기금속 화학증착법을 이용한 불소 혼입된 산화주석 박막제조

• 이상운 (명지대학교) ;
• 배정운 (성균관대학교) ;
• 송국현 (국립기술품질원) ;
• 박정일 (국립기술품질원) ;
• 박광자 (국립기술품질원) ;
• 윤천호 (명지대학교)

• 발행 : 1998.11.01

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