Electrical Properties of $(Zr,Sn)TiO_4$ Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering Method

스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구

  • 성현호 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1998.11.01