Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Formation of the electroplated Cu for ULSI metallization

고집적 회로용 전해 도금 구리의 형성

  • 김동찬 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1998.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords